氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的氣體檢測(cè)儀器，它利用了帶電粒子在磁場(chǎng)中偏轉(zhuǎn)的原理來(lái)識(shí)別不同原子量的氣體。其工作過(guò)程如下：首先將待測(cè)容器充入惰性氣體（主要是氮?dú)猓缓髮⒐苈方油ㄕ婵毡眠M(jìn)行抽空處理；接著打開(kāi)進(jìn)樣閥使被探測(cè)的氣體進(jìn)入靜電引弧極間形成輝光放電而被離子化、激發(fā)而產(chǎn)生正負(fù)電子流；之后由穩(wěn)壓電源供給高壓于陰板和陽(yáng)板上分別收集這些自由電子并維持兩板的導(dǎo)電回路閉合電路；通過(guò)測(cè)量出電流強(qiáng)度即可確定泄漏率的大小或樣品中的質(zhì)量分?jǐn)?shù)含量。
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測(cè)設(shè)備，利用了氦氣的流動(dòng)性和質(zhì)量大于氮?dú)狻⒀鯕獾葰怏w這一特性。
該系統(tǒng)的是He特性的性及N2-Ar混合物的配比關(guān)系，對(duì)于壓力范圍0.5~8大氣壓，在很小的泄露量下就能探測(cè)出來(lái)（小于1Pa·m3/s）。此外還配備了真空泵對(duì)測(cè)試工件進(jìn)行抽空處理，將工作空間的工作壓力降低到規(guī)定的要求參數(shù)值內(nèi)；電器控制系統(tǒng)負(fù)責(zé)整個(gè)試驗(yàn)過(guò)程的操作和調(diào)節(jié)控制；而示差式電路不但能根據(jù)被測(cè)樣品放出的低頻成分來(lái)校正測(cè)量結(jié)果而且還能使儀表具有自動(dòng)反吸功能。
真空箱氦檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測(cè)真空容器內(nèi)氦氣泄漏的設(shè)備。它利用氦氣在真空中的穩(wěn)定性和不易被壓縮的特性，通過(guò)對(duì)真空容器內(nèi)氦氣濃度的檢測(cè)來(lái)判斷容器是否存在泄漏。
該系統(tǒng)的工作原理如下：首先，將真空容器放入氦檢漏系統(tǒng)的真空室中，然后向容器內(nèi)充入一定量的氦氣。接著，打開(kāi)真空室的入口閥門(mén)，使真空室內(nèi)的壓力逐漸降低，當(dāng)壓力降至某一預(yù)設(shè)值時(shí)，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)檢測(cè)氦氣濃度，并將檢測(cè)到的數(shù)據(jù)記錄下來(lái)。
如果容器存在泄漏，那么在壓力降低的過(guò)程中，氦氣會(huì)從泄漏點(diǎn)逸出，導(dǎo)致容器內(nèi)氦氣濃度下降，從而被檢測(cè)器檢測(cè)到。系統(tǒng)會(huì)根據(jù)設(shè)定的閾值來(lái)判斷是否存在泄漏，并發(fā)出報(bào)警信號(hào)或停止真空室內(nèi)的工作。
該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于航空航天、電子、半導(dǎo)體、等領(lǐng)域，用于檢測(cè)和監(jiān)測(cè)真空容器內(nèi)的氦氣泄漏，保證產(chǎn)品質(zhì)量和安全。
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